GB/T 32281-2015《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法》
Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
标准类型：国家标准
标准属性：推荐性
标准状态：现行
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国家标准《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中铝宁夏能源集团有限公司、宁夏银星多晶硅有限责任公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、新特能源股份有限公司。
主要起草人薛抗美 、夏根平 、肖宗杰 、盛之林 、范占军 、蒋建国 、林清香 、徐自亮 、王泽林 、宋高杰 、刘国霞 。
基础信息
标准号：GB/T 32281-2015发布日期：2015-12-10实施日期：2017-01-01标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040.30 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
起草单位
江苏协鑫硅材料科技发展有限公司中铝宁夏能源集团有限公司洛阳鸿泰半导体有限公司北京合能阳光新能源技术有限公司宁夏银星多晶硅有限责任公司新特能源股份有限公司
起草人
薛抗美夏根平范占军蒋建国王泽林宋高杰肖宗杰盛之林林清香徐自亮刘国霞
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